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标题:刀具-电铸超薄金刚石刀具的研制及使用
正文:
硬质合金刀具焊接刀具硬质合金刀具焊接刀具　　 方莉俐，张洋，刘士国 　　 (中原工学院理学院，郑州450007) 　　 摘要:剖析了超薄金刚石刀具的研讨现状，用电铸工艺制备出金刚石-镍复合膜，讨论了阴极电流密度、搅拌速度和搅拌桨地位、阴极悬挂倾角、镀液温度等电镀工艺参数对金刚石-镍复合膜质量的影响法则;讨论了复合膜的后续加工工艺，指出电火花加工可以无效除去复合膜的毛边和毛刺，是一种行之无效的后续加工办法;研制出了超薄金刚石-镍复合膜切割片，并对其切割功能停止了初步试用研讨。 　　 关键词:电铸;超薄金刚石刀具;金刚石-镍复合膜;电火花加工;使用 　　 中图分类号:TQ164 文献标识码:A 文章编号:1000-985X(2011)03-0610-06 　　 1·引言　　 超薄金刚石刀具次要用于电子消息产业范畴各种集成电路芯片及多种电子元器件划断和开槽。这种切割片厚度薄(普通为0．015～0．1mm);精度高(厚度尺寸精度普通为＜0．003mm，圆度和同心度＜0．01mm，平行度＜0．005mm);强度高;刚性好;内应力小(任务线速度可达100m/s左右)。具有切割速度高、切缝小、崩口小、资料应用率高、工件精度高、外表质量好等长处，完整能满意电子消息范畴大范围集成电路芯片及多种电子元器件加工的需求。目前，超薄金刚石刀具研制次要有两种办法，即压制法和电铸法。电铸法比压制法温度低、装备复杂、研制的刀具更薄，因而具有更多的上风。目前，用电铸法研制超薄金刚石刀具，国外到达实践使用的仅有日本DISCO公司、三菱公司，韩国的新韩公司等多数几家，国际仅有多数研讨单位正在停止研讨开拓此项任务，目前还处于起步阶段。电铸法超薄金刚石刀具的研制，可以进步我国工具行业的制造水平，替换入口，并对我国电子消息产业范畴的开展起到主动的推进作用。 　　 2·超薄金刚石刀具的研讨现状　　 2．1
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